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東莞市凱豐儀器科技有限公司
一臺兩用高精度復(fù)合機(jī)
輪廓檢出器的指示精度：±（0.8+︱2H︱/100）μm, 分解能：實(shí)現(xiàn)0.025 μm (全范圍)
最高粗糙度測量倍率：最大可達(dá)到50萬倍。用高精度可以測量及評價(jià)精密加工部件的粗糙度和輪廓形狀。
■裝載有新型線形馬達(dá)驅(qū)動(dòng)（專利申請中）
能達(dá)到世界最高水平的測量速度和低振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)更加穩(wěn)定的高倍率測量。
而且，國為是構(gòu)造簡單的非接觸式驅(qū)動(dòng)，所以能長期穩(wěn)定的使用。
■使生產(chǎn)性大幅度提高的高速測量
粗糙度測量: 最大3mm/s, 輪廓測量 最大20mm/s，移動(dòng)速度 最大60mm/s
測量效率: 最大提高10倍（本公司相比）
項(xiàng)目 / 型式 | SURFCOM 2900DX3/SD3 | ||||||||||||||
-12 | -13 | -14 | -15 | -22 | -23 | -24 | -25 | ||||||||
量測範(fàn)圍 | Z軸（縱方向） | 50mm | |||||||||||||
X軸（橫方向） | 100mm | 200mm | |||||||||||||
精度 | 粗度檢出器 | 檢出器測量解析度 | 0.01μm/1000μm測量範(fàn)圍~0.0001μm/6.4μm測量範(fàn)圍 | ||||||||||||
輪廓用檢出器 | Z軸指示精度 | ±(1.8+|2H|/100)μm H:測量高度(mm) | |||||||||||||
測量解析度 | 0.025μm/全范圍 | ||||||||||||||
驅(qū)動(dòng)部粗度 | X軸測量解析度 | 0.04μm 或者 32,000點(diǎn)（數(shù)據(jù)取入數(shù)3000，000點(diǎn)） | |||||||||||||
驅(qū)動(dòng)部輪廓 | X軸指示精度 | ±（1.0+1L/100）μm ( L：測量長度mm) | |||||||||||||
測量解析度 | 0.016μm | ||||||||||||||
真直度精度 | 粗度：(0.05+1.0L/1000)μm L:量測長度(mm) 輪廓：1μm/100mm、2μm/200mm | ||||||||||||||
感應(yīng)方式 | X軸（橫方向） | Moire光柵尺 | |||||||||||||
Z軸（縱方向） | 粗度檢出器 | 差動(dòng)變壓器 | |||||||||||||
輪廓檢出器 | 雷射光學(xué)尺 | ||||||||||||||
速度 | 立柱上下速度(Z軸) | 3~10mm/s | |||||||||||||
測量速度(X軸) | 測量速度：0.03~20mm/s,移動(dòng)速度：最大60mm/s | ||||||||||||||
檢出器 | 粗度 | 測針、測量力 | 交換式、0.75mN以下 | ||||||||||||
測針半徑、材質(zhì) | 2μmR,（60°圓錐鑽石材質(zhì).）1支標(biāo)準(zhǔn)付屬品 | ||||||||||||||
輪廓 | 測針、測量力 | 交換式、30mN以下 | |||||||||||||
測針半徑、材質(zhì) | 25μmR,（24°圓錐鑽石材質(zhì).）2支標(biāo)準(zhǔn)付屬品 | ||||||||||||||
測量方向、方式 | 拉、壓方向、上下方向、最大尋跡角度：77° | ||||||||||||||
移動(dòng)范圍 | 驅(qū)動(dòng)部行程 | 100mm | 200mm | ||||||||||||
立柱上下動(dòng)行程 | 226mm | 426mm | 626mm | 226mm | 426mm | 626mm | |||||||||
平臺 | 尺寸 | 600×320mm | 1000×450mm | 600×320mm | 1000×450mm | ||||||||||
容許載重量 | 37kg | 28kg | 93kg | 84kg | 31kg | 22kg | 87kg | 78kg | |||||||
其它 | 設(shè)置尺寸 | 橫 | 1250mm | 1650mm | 1250mm | 1650mm | |||||||||
深 | 800mm | 900mm | 800mm | 900mm | |||||||||||
高 | 1480mm | 1680mm | 1880mm | 1480mm | 1680mm | 1880mm | |||||||||
質(zhì)量 | 225kg | 235kg | 420kg | 430kg | 230kg | 240kg | 425kg | 435kg | |||||||
電源、消耗電力 | 單相AC100V±10％(要接地)﹑50/60Hz / 670VA | ||||||||||||||