表面粗糙度反映的是機械零件表面的微觀幾何形狀誤差，表面粗糙度檢測方法很多，主要方法如下：

　　1、比較法

　　將表面粗糙度比較樣塊（簡稱樣塊）根據視覺和觸覺與被測表面比較，判斷被測表面粗糙度相當于哪一個數值，或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊，表面經磨、車、鏜、銑、刨等切削加工，電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經過測量并評定合格后作為樣塊。利用樣塊根據視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便，但會受到主觀因素影響，常不能得出正確的表面粗糙度數值。對測量精度要求不高的可以使用這種方法。

　　2、光切法

　　光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上，以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度。由光源射出的光經聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測表面，形成被測表面的截面輪廓圖形，然后通過物鏡將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數鼓輪先讀出 h 值，計算后得到 H 值。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量 RZ 和 Ry 為 0.8～100 μm 的表面粗糙度，需要人工取點，測量效率低。

　　3、干涉法

　　利用光波干涉原理（見平晶、激光測長技術）將被測表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來，并利用放大倍數高（可達500倍）的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進行測量，以得出被測表面粗糙度。應用此法的表面粗糙度測量工具稱為干涉顯微鏡。這種方法適用于測量Rz和Ry為 0.025～0.8 μm 的表面粗糙度。

　　4、觸針法

　　利用針尖曲率半徑為 2 μm 左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉換為電信號，經放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數值，也可用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為表面粗糙度輪廓儀（簡稱輪廓儀）適用于測量 Rα 為 0.025～6.3 μm 的表面粗糙度。

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