1測量結束，退出系統，關閉電腦，切斷電源及氣源。

　　2每個工作日打開過濾器的閥門放一次水。

　　3測量完畢后用棉花拈航空汽油清洗工作臺及夾具，并涂油防銹。

　　4儀器配件要注意防銹。

　　5要定期（具體周期視環境定）清潔氣浮導軌，以保證導軌的精度。