儀器精度是有一定標準，如3+L/200，其表示整個(3+L/200)單位為?m、而L的單位為mm；通常影響儀器精度的是其軟硬件質量所決定，硬件包括臺面、立柱的花崗巖及導軌等零組件。如無牙螺絲，光柵尺，光源，CCD等質量的好壞?；◢弾r的臺面和立柱不易變形，無牙絲桿無間隙摩擦傳動，高解析度光柵尺，高像素CCD及軟件補償，都會造成較高的儀器精度